На главную

Метрологическая служба ГК «Росатом»

  • Контакты
  • Карта сайта
  • Войти в систему
  • Регистрация

Авторизация:

Нормативная база

Государственная система обеспечения единства измерений. Измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения. Методика выполнения измерений

  • Название на английском:
  • State system for еnsuring the uniformity of measurements. Measurements of coefficients of regular and diffuse transmittance of ultraviolet radiation. Methods for measurements
  • Тип документа:
  • Стандарт
  • Принявший орган:
  • Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии
  • Разработчик:
  • ФГУП ВНИИОФИ 
  • Номер документа:
  • ГОСТ Р 8.627-2007
  • Дата:
  • 01.07.2007
  • Теги:
  • рефлектометр, коэффициент диффузного отражения, коэффициент зеркального отражения, средство измерений, вакуумное ультрафиолетовое излучение, МВИ

Стандарт распространяется на методику выполнения измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения, используемых для определения оптических констант материалов и тонких пленок, коэффициентов отражения зеркал и эффективности дифракционных решеток, а также при контроле технологических процессов в микроэлектронике.

Ссылка на документ:

Внимание. Документ размещен на сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии. Для получения доступа к документу необходимо предварительно зарегистрироваться на сайте gost.ru.
Регистрация бесплатная.